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Thick8000高精度X-ray 膜厚仪
Thick8000高精度X-ray 膜厚仪
2.同时检测元素:*多24个元素,多达5层镀层;
3.分析含量:般为2ppm到99.9%;
4.镀层厚度:般在50μm以内(每种材料有所不同);
5.SDD探测器:分辨率低至135eV;
6.*的微孔准直技术:*小孔径达0.1mm,*小光斑达0.1mm;
7.样品观察:配备景和局部两个工业高清摄像头;
8.准直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合;
9.仪器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm;
10.样品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm;
11.样品台尺寸:393(W)x 258 (D)mm;
12.X/Y/Z平台移动速度:额定速度200mm/s *速度333.3mm/s;
13.X/Y/Z平台重复定位精度:小于0.1um;
次数 | Thick8000 | 行业内其他仪器 |
1 | 0.042 | 0.0481 |
2 | 0.043 | 0.0459 |
3 | 0.043 | 0.0461 |
4 | 0.0412 | 0.0432 |
5 | 0.0429 | 0.0458 |
6 | 0.0436 | 0.0458 |
7 | 0.0427 | 0.0483 |
8 | 0.0425 | 0.045 |
9 | 0.0416 | 0.0455 |
10 | 0.0432 | 0.0485 |
11 | 0.0422 | 0.043 |
平均值 | 0.0425 | 0.0459 |
标准偏差 | 0.0007 | 0.0019 |
相对标准偏差 | 1.70% | 4.03% |
极差 | 0.0024 | 0.0055 |
更新时间:2024/5/13 16:13:32
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